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Hellma (111)晶向CaF?單晶圓片具備抗劃傷能力
發布時間： 2026-07-28 點擊次數： 138次Hellma (111)晶向CaF?單晶圓片具備抗劃傷能力
Hellma氟化鈣CaF?單晶圓片（規格：直徑14.7mm、厚度4.2mm，平-平結構，(111)晶體取向，適配248nm波段，精磨表面Rq 2µm，0.5mm防護倒角，尺寸公差直徑±0.1mm、厚度±0.1mm，整體規范遵循HMAT材料標準）是面向深紫外光譜檢測、激光光路、精密分析儀器開發的標準化光學元件。熔融石英在260nm以下透光性能快速衰減，普通多晶氟化鈣存在晶界散射問題，而該款單晶CaF?元件憑借寬光譜透光能力、低應力雙折射、極低內部光散射特性，成為248nm深紫外光路的核心耗材。本文結合應用案例，還原應用工況、原有技術痛點、實施方案與長期運行成效，闡明該氟化鈣元件在不同系統中的技術價值，同時明確工況適用邊界，為光學系統集成、儀器選型、耗材配套提供工程參考。
元件基礎技術邊界與核心特性概述
基材為monokristallin單晶氟化鈣，區別于多晶螢石，內部無晶界，光束透射散射極低；晶體取向(111)，固有應力雙折射水平低，規避偏振干擾；目標工作波長248nm深紫外區域，彌補石英光學材料短波透過短板；雙面平-平結構，光束垂直入射無偏折；精磨表面Rq 2µm，具備良好抗劃傷能力，適合與樣品介質直接接觸；0.5mm邊緣防護倒角，降低脆性晶體裝配崩邊風險；全套制造、檢驗規范執行Hellma HMAT標準，保障多批次元件光學性能、幾何尺寸高度一致。元件材質化學穩定性可耐受絕大多數中性溶劑、弱酸介質，不適用于濃強堿、長期接觸場景漢達森yyds吳亞男。
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